相関性分析と補正
本節では、相関性分析と補正の実施方法について説明します。
相関性は測定機器自体の絶対精度を示すものであり、真値との一致度を表します。相関性が低い場合、インライン測定システムの繰り返し精度が非常に優れていても、測定結果は要求を満たすことができません。したがって、インライン測定システムの測定結果と三次元測定機(CMM)の測定結果が契約の許容範囲内に収まり、測定要件を満たすようにするため、相関性分析と補正を行う必要があります。
開始条件
相関性分析と補正を開始する前に、以下の条件を満たしておくことを推奨します。
-
システムの繰り返し精度検証が合格していること。
-
分析に使用するワークおよび対応するCMM測定レポートが準備されていること。
-
インライン測定システムの出力結果が安定しており、比較分析に使用できること。
|
相関性補正の原理
-
5つのワークを用意し、各ワークをCMMで3回、インライン測定システムで10回測定します。
-
各測定点について、「CMM測定値 - Mech-Metrics 測定値」を計算し、偏差値を求めます。
-
5つのワークの偏差値をそれぞれ統計し、外れ値を除去した後、平均値を補正値とします。
-
補正値を Mech-Metrics 測定値に加算し、各測定点のインライン測定結果とCMM測定結果が契約の許容範囲内に維持されるようにします。
| 相関性分析と補正を行う前に、まずインライン測定システムの繰り返し精度の検証を行う必要があります。 |
相関性補正の方式
相関性補正の方式は主に2つあります。
-
手動補正
Mech-Metrics の注釈カードの測定値(出力測定値)= 元の測定値 + 補正値 + オフセット値
-
補正値:CMM測定値との比較により算出されます
-
オフセット値:プロセスに応じて手動で調整する値
この設定の閲覧および変更は、管理者のみが行えます。 -
-
相関補正ツールを使用した補正
Mech-Metrics は相関補正ツールを提供しており、補正値を自動的に計算して測定結果に適用するため、手動で調整する必要はありません。詳しい使用方法については、関連性分析と相関補正をご参照ください。