相関性分析と補正

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本節では、相関性分析と補正の実施方法について説明します。

相関性は測定機器自体の絶対精度を示すものであり、真値との一致度を表します。相関性が低い場合、インライン測定システムの繰り返し精度が非常に優れていても、測定結果は要求を満たすことができません。したがって、インライン測定システムの測定結果と三次元測定機(CMM)の測定結果が契約の許容範囲内に収まり、測定要件を満たすようにするため、相関性分析と補正を行う必要があります。

段階の目標

本段階の目標は、インライン測定結果とCMM測定結果の一致性を評価し、必要に応じて補正設定を完了させ、結果がプロジェクト契約の要件を満たすようにすることです。

開始条件

相関性分析と補正を開始する前に、以下の条件を満たしておくことを推奨します。

  • システムの繰り返し精度検証が合格していること。

  • 分析に使用するワークおよび対応するCMM測定レポートが準備されていること。

  • インライン測定システムの出力結果が安定しており、比較分析に使用できること。

相関性

相関性とは、異なる2台の測定装置が、同一ワークの同一寸法を測定した際の結果の一致度を指します。

相関分析および補正

相関分析および補正とは、異なる2台の測定装置による測定結果の相関性を分析し、その結果に基づいて一方の測定結果を補正することで、測定の信頼性を向上させる手法です。

CMM測定レポート

CMM測定レポートとは、三次元測定機によって出力される測定結果レポートを指します。一般的に測定対象ワーク情報、測定項目、公称値、実測値、偏差、判定結果が含まれます。相関分析においては、CMM測定レポートは比較基準として利用され、インライン測定結果との一致性評価に用いられます。

相関性補正の原理

  1. 5つのワークを用意し、各ワークをCMMで3回、インライン測定システムで10回測定します。

  2. 各測定点について、「CMM測定値 - Mech-Metrics 測定値」を計算し、偏差値を求めます。

  3. 5つのワークの偏差値をそれぞれ統計し、外れ値を除去した後、平均値を補正値とします。

  4. 補正値を Mech-Metrics 測定値に加算し、各測定点のインライン測定結果とCMM測定結果が契約の許容範囲内に維持されるようにします。

相関性分析と補正を行う前に、まずインライン測定システムの繰り返し精度の検証を行う必要があります。

相関性補正の方式

相関性補正の方式は主に2つあります。

  • 手動補正

    Mech-Metrics の注釈カードの測定値(出力測定値)= 元の測定値 + 補正値 + オフセット値

    • 補正値:CMM測定値との比較により算出されます

    • オフセット値:プロセスに応じて手動で調整する値

    この設定の閲覧および変更は、管理者のみが行えます。
  • 相関補正ツールを使用した補正

    Mech-Metrics は相関補正ツールを提供しており、補正値を自動的に計算して測定結果に適用するため、手動で調整する必要はありません。詳しい使用方法については、関連性分析と相関補正をご参照ください。

完了基準

本段階の完了時には、以下の条件を満たしている必要があります。

  • 主要な測定点における相関性の結果分析が完了していること。

  • 系統的な偏差が存在する場合、補正値の計算および設定が完了していること。

  • 補正後のインライン測定結果とCMM結果が契約の許容範囲内に収まっていること。

  • システムが本稼働および継続的分析の段階に進む条件を備えていること。

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