高さ補正
プロファイルの高さの誤差を補正します。この誤差は、X 軸を中心としたインラインプロファイル測定器の回転によって生じます。
下図に示すように、インラインプロファイル測定器が X 軸を中心に回転すると取得したプロファイルに高さの誤差が生じます。
| 回転無し | X 軸を中心に回転 | |
|---|---|---|
インラインプロファイル測定器 |
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取得したプロファイル |
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右のパラメータパネルで高さ補正の右の編集ボタンをクリックすると高さ補正が使用できます。
使用前提
以下のように準備してください。
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ケージブロックなど寸法が分かっている規則的な形状をしている物体を用意して水平面に置きます。
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対象物のプロファイルを完全に取得できることを確認します。できない場合はプロファイルモードを参考してパラメータを調整してください。
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対象物がインラインプロファイル測定に対して移動しないことを確認します。
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高さの差を計算するために使用する 2つの平面（ケージブロックの上面とその下の水平面など）を指定し、2つの平面の高さを確認します。
操作手順
以下の手順を実行します。
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高さ補正の右の編集をクリックして高さ補正ウィンドウを開きます。
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対象領域を選択してドラッグして調整します。以下のように調整してください。
2つの対象領域に収まるプロファイルはそれぞれ指定した 2つの平面に対応します。
高さの差を計算するために使用する 2つの平面
対象領域
OK
NG
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対象領域を指定したあと、その左・右のエッジをドラッグして領域の幅を調整します。以下のように調整してください。
2 の要件を満たしたら、対象領域の幅をできる限り広くします。これにより高さ補正に使用できるデータは多くなります。
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高さの差の実際の高さの差に指定した 2つの表面の高さの差を入力します。
実際の高さの差に入力できる最小値は 0.01mm で、最大値はインラインプロファイル測定の Z 軸の測定範囲です。 -
補正をクリックします。左の画像にある緑の線は補正済みのプロファイルを示します。プロファイルが要件を満たしたかを確認します。
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満たした場合に適用をクリックして今のウィンドウを閉じます。
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満たさない場合に手順 2~5 を繰り返します。
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プロファイルモードで再度データを収集してからプロファイルに切り替えて確認します。