インラインプロファイル測定器の型式の比較
本節では、インラインプロファイル測定器の各型式の特徴と適用シーンを紹介します。
主要パラメータの比較
ご入手いただける型番：
-
LNX-8000 シリーズ：LNX-8030、LNX-8080、LNX-8300（LNX-8000C コントローラーと併用）
-
LNX-7500 シリーズ：LNX-7530、LNX-7580、LNX-75150、LNX-75300（LNX-7500C コントローラーと併用）
-
LNX-7000 シリーズ：LNX-7030、LNX-7045、LNX-7080、LNX-7150、LNX-7300、LNX-7600
各型式の主要技術仕様を下表に示します。より詳細な技術仕様については、LNX-7500 シリーズとLNX-8000 シリーズをお読みください。
シリーズ |
型式 |
プロファイルデータ数 |
スキャン速度(1) |
基準距離 |
測定範囲 |
X 軸解像度(2) |
レンズ角度(3) |
|||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Z 軸 |
X 軸 |
|||||||||
NEAR 側 |
基準距離 |
FAR 側 |
||||||||
LNX-8000 |
LNX-8030 |
4096 |
3.3~15kHz |
78mm |
30mm |
33mm |
35mm |
37mm |
9μm |
30° |
LNX-8080 |
250mm |
100mm |
76mm |
89mm |
96mm |
23.5μm |
22° |
|||
LNX-8300 |
325mm |
305mm |
230mm |
310mm |
430mm |
105μm |
19° |
|||
LNX-7500 |
LNX-7530 |
3200 |
2~10kHz |
78mm |
25mm |
31mm |
33mm |
35mm |
11μm |
30° |
LNX-7580 |
250mm |
76mm |
72mm |
82mm |
89mm |
28μm |
22° |
|||
LNX-75150 |
228mm |
135mm |
123mm |
150mm |
167mm |
52μm |
25° |
|||
LNX-75300 |
325mm |
295mm |
219mm |
300mm |
422mm |
132μm |
19° |
|||
LNX-7000 |
LNX-7030 |
3200 |
モード 1：20\~49kHz。モード 2：13.5~49kHz。模式 3：2~49kHz |
60mm |
21mm |
30mm |
33mm |
37mm |
11μm（9.5μm~11.5μm） |
30° |
LNX-7045 |
65mm |
31mm |
39mm |
45mm |
52mm |
15μm（12μm~16μm） |
30° |
|||
LNX-7080 |
135mm |
70mm |
68mm |
80mm |
97mm |
25μm（21μm~30μm） |
25° |
|||
LNX-7150 |
160mm |
140mm |
120mm |
152mm |
210mm |
50μm（38μm~66μm） |
27° |
|||
LNX-7300 |
300mm |
310mm |
185mm |
254mm |
400mm |
80μm（58μm~125μm） |
21° |
|||
LNX-7600 |
500mm |
650mm |
334mm |
470mm |
825mm |
150μm（105μm~258μm） |
23° |
|||
(1) ROI の Z 方向の高さを異なる値に設定した時のインラインプロファイル測定器の最大速度。
(2) 以下の視野範囲の比較をご参照ください。
(3) 計算方法：X 軸解像度 = FAR 側 X 軸測定範囲 ÷ プロファイルデータ数。
(4) 各シリーズのインラインプロファイル測定器取扱説明書をお読みください。
