定位掩膜特征点
使用流程
该步骤的使用流程如下:
-
选择输入数据。连接对应的步骤端口,或者在参数设置区的输入栏下选择对应的输入数据。
-
在参数栏选择所需的特征点类型。
-
参数栏有其他参数时,根据实际需求选择和调整参数。
-
在输出栏中勾选输出项,并单击输出项左侧的 ▶ 展开该项,输入合格范围的上限和下限。
参数说明
| 参数 | 解释 |
|---|---|
特征点类型 |
选择特征点的类型。
|
输出说明
勾选输出项后,步骤将增加对应的输出端口,步骤运行后将输出对应的数据。可根据实际测量需求选择对应的输出项。
|
如果输出项可展开(左侧有 ▶),则勾选后必须展开,然后设置上限和下限来确定该项的合格范围。如果输出的值在合格范围内,该测量项被判定为合格(OK),否则被判定为不合格(NG)。 |
| 输出项 | 说明 |
|---|---|
特征点 |
定位到的特征点。 |
点X坐标 |
特征点的X坐标值。 |
点Y坐标 |
特征点的Y坐标值。 |
错误排查
|